切割用精密空氣主軸
高精密切割用空氣主軸(英國ABL公司產品)DS060E
本公司是受CBBC(英中貿易協會)調查,認證,并得到英國ABL公司授權的中國大陸地區的空氣主軸產品的總代理。本產品是英國ABL公司為半導體行業的硅片及石英等硬脆材料的切割而設計的高精密,高轉速的空氣主軸產品(軸承潤滑劑為空氣,即非接觸式潤滑)。
一,主要特點
(1)可以根據客戶的具體要求進行設計;
(2)采用特殊的馬達設計,使本主軸具有體積小,高鋼性,高負荷的特點。
(3)各種主軸的固定方式可供選擇,使其可以做為各類新老設備的主軸使用。
(4)高精密,低振動運轉,低能耗。
(5)根據客戶要求量身定做配套的切割刀架。
最高轉速 | 60,000 RPM | 徑向鋼性(Radial Stiffness)* | 13 N/um |
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馬達功率 | 1.8 kW | 徑向負荷(Radial Load Capacity)* | 140 N |
空氣壓力 | 5.5-6.0 kgf/cm2 | 軸向鋼性(Axial Stiffness) | 10 N/um |
空氣流動率 | 60-65 Nl/min | 軸向負荷(Axial Load Capacity) | 150 N |
冷卻 | 水冷 | 軸偏(Dynamic Run Out) | <1 um |
冷卻水流量 | 2 l/min | 標準刀片尺寸 | 40 mm |
冷卻水進水溫度 | 15-19 °C | 重量 | 5.5 kg |
*由刀片位置的統計結果
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