二氧化碳發(fā)泡機
超純水用帶電防止器（The Antistatic System for Ultrapure Water, MEGCON II） (日本NGK）
半導(dǎo)體產(chǎn)品制造中，利用超純水清洗時必不可少的設(shè)備。
概要
通常的精密清洗過程中，往往使用不含離子的超純水進行清洗，這樣超純水很容易產(chǎn)生靜電，是以下的各種產(chǎn)品不良的主要原因。
?由靜電產(chǎn)生電路破壞（靜電擊穿）
?被清洗物表面付著電荷，由靜電吸引產(chǎn)生的微粒子粘著
超純水用靜電防止器（MEGAON II） 利用向超純水中深解二氧化炭氣體的方式，將電荷導(dǎo)出，達到除靜電，搞高產(chǎn)品的良品率的目的。
用途
?半導(dǎo)體劃片制程里的清洗
?高壓噴射清洗
?液晶面板清洗
?曝光用MASK清洗
分類
分為MEGACON與ALKARI MEGACON 兩種
MEGACON
特點
1，通過膜將二氧化碳溶解到超純水中，微粒子的混入危險性小，信設(shè)備信賴性高；
2，采用自動控制系統(tǒng)，流量變動，目標水阻值可以達到精確控制；
3，設(shè)備進出超純水的壓力損失少；
4，歐洲電器標準CE
原理
通過膜裝二氧化碳氣體溶解到超純水中。
產(chǎn)品規(guī)格
| 通用系列 | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 規(guī)格 | 框架式 | PRCⅡ-1000AD | PRCⅡ-1200AD | PRCⅡ-2000AD | PRCⅡ-1220AD | |
| 柜式 | 標準型 | PRCⅡ-1000ACD | PRCⅡ-1200ACD | PRCⅡ-2000ACD | PRCⅡ-1220ACD | |
| S型 ※1 | PRCⅡ-1000ACD-S | PRCⅡ-1200ACD-S | PRCⅡ-2000ACD-S | PRCⅡ-1220ACD-S | ||
| 性能 | 最大流量 | 1000 L/h | 1000 L/h | 2000 L/h | 2000 L/h | |
| 系統(tǒng)控制 （最小水阻，流量約500L/h時的值） |
0.2～2 MΩ?cm |
0.1～0.5 MΩ?cm |
0.2～2 MΩ?cm |
0.15～1 MΩ?cm |
||
| 氣體部分 | 氣體鋼瓶內(nèi)藏式 | |||||
| 超純水水管口徑 | 框架式 | 軟管噴嘴（ID19φ編織軟管） | ||||
| 柜式 | Rc1/2 | Rc3/4 | ||||
| 尺寸 | 框架式 | 480W×355D×200H mm | ||||
| 柜式 | 標準型 | 520W×400D×1150H mm | ||||
| S型 ※1 | 520W×400D×1415H mm | |||||
| 重量 | 框架式 | 15kg | ||||
| 柜式 | 標準型 | 65kg | ||||
| S型 ※1 | 66kg | |||||
| 電源 | AC100-240V（50/60Hz） （購入時請指定、無指定情況下為AC100-120V） |
|||||
| 液體接觸部分材質(zhì) | 膜箱CELL（二氧化碳導(dǎo)入部件）→PP |
|||||
| 柜式涂裝色 | Munsell 2.5Y8 / 2 | |||||
| 標裝附屬品 ※2 | 框架式 | 使用說明書，檢查成績書 | ||||
| 柜式 | 標準型 | 使用說明書，檢查成績書 電源100-120V時：電源線（AC100-120V用）+插頭 電源200-240V時：電源線（AC200-240V用） （上記以外的部件由用戶自行準備） |
||||
| S型 ※1 | ||||||
| CE標識 | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 規(guī)格 | 框架式 | - | - | |||
| 柜式 | E型 | FRCⅡ-1000ACD-E | FRCⅡ-2000ACD-E | |||
| ES型 ※1 | FRCⅡ-1000ACD-ES | FRCⅡ-2000ACD-ES | ||||
| 性能 | 最大流量 | 1000 L/h | 2000 L/h | |||
| 系統(tǒng)控制 （最小水阻，流量約500L/h時的值） |
0.2～2 MΩ?cm |
0.2～2 MΩ?cm |
||||
| 氣體部分 | 外部氣體供給式 | |||||
| 超純水水管口徑 | 框架式 | - | ||||
| 柜式 | Rc3/4 | |||||
| 尺寸 | ラック型 | - | ||||
| 柜式 | E型 | 520W×470D×1150H mm （含防倒部分） |
||||
| ES型 ※1 | 520W×470D×1390H mm （含防倒部分） |
|||||
| 重量 | 框架式 | - | ||||
| 柜式 | E型 | 65kg | ||||
| ES型 ※1 | 66kg | |||||
| 電源 | AC100-240V（50/60Hz） | |||||
| 液體接觸部分材質(zhì) | 膜箱CELL（二氧化碳導(dǎo)入部件）→PP 配管→SUS304、PP、編織軟管 |
|||||
| 柜式涂裝色 | Munsell 2.5Y8 / 2 | |||||
| 標準附屬品 ※2 | 框架式 | - | ||||
| 柜式 | E型 | 使用說明書，檢查成績書 電源線（AC100-240V用）+歐洲標準插頭 |
||||
| ES型 ※1 | 使用說明書，檢查成績書 電源線（AC100-240V用）+歐洲標準插頭， 數(shù)據(jù)保存系統(tǒng) |
|||||
※1:S型為2色燈報警器+可移動用腳輪。ES型為2色燈報警器+數(shù)據(jù)輸出用端子及數(shù)據(jù)保存用系統(tǒng)。
※2:其它附屬品從下記名稱中選出。預(yù)備用膜箱CELL，做為備用，推薦購買。
?校正證明書（水阻）
?預(yù)備用膜箱CELL
?水阻監(jiān)視傳感器SENCER
?數(shù)據(jù)保存系統(tǒng)
※3:超純水的常用壓力為0.35MPa，瞬時最大壓力保持在0.45MPa以下。
ALKARI MEGCON
特點
1.以改變被清洗物表面的電位的極性及電量的變化，來防止微粒子的靜電付著；
2.采用自動控制系統(tǒng)，流量變動，目標水阻值可以達到精確控制。
原理
利用膜將氨水注入到超純水中
| 規(guī)格型號 | AMII-10P | AMII-20P | |
|---|---|---|---|
| 性能 | 流量 | 300～600 L/h | 600～1200 L/h |
| 控制范圍 | 0.1～1MΩ?cm | ||
| 配管口徑 | 超純水 | Rc 1/2 | Rc 3/4 |
| 排氣 | 25A PVC接頭 | ||
| 尺寸 | 520W x 400D x 1150H mm | ||
| 重量 | 65kg | ||
| 其它標準 | 氨水 | 電子級 | |
| 氮氣 | 0.3～0.5MPa x 50NL/min | ||
| 電源 | AC100V(50/60Hz) | ||
| 涂裝色 | Munsell 2.5Y8 / 2 | ||
| 可選項 | 1.氨水蓄液罐0～15L) 2.氨水殘量監(jiān)視器(附帶報警器) |
||
可選備品
數(shù)據(jù)保存系統(tǒng)
可以將水阻值，溫度，流量數(shù)據(jù)導(dǎo)入電腦，圖表表示。
這些數(shù)據(jù)可以提高清洗管理水平，及良品率。
| 對應(yīng)OS | Windows2000、XP、VISTA | |
| 使用環(huán)境 | CPU | Pentium 150MHz以上 |
| HDD容量 | 10MB以上 | |
| 內(nèi)存 | 32MB以上 | |
| 圖表 | 畫面種類 | 1.即時表示 2.保存數(shù)據(jù)再表示 |
| 表示項目 | 縱軸：水阻測定值(2點)、水溫測定值1點)、流量演算值(1點) 橫軸：時間(年月日時分秒) |
|
| 警告表示 | 水阻值上下限警告，二氧化碳殘量少 | |
| 數(shù)據(jù)保存 | 樣本周期 | 1～60sec (1sec刻度) |
| 保管形式 | csv形式、1小時一回數(shù)據(jù)保存 | |
| 最長時間 | 最長1個月 | |
| 使用數(shù)據(jù)線 | RS-232C(d-sub pin)、RS-485 | |
YWORDS： 二氧化碳發(fā)泡機，NGK， CELL， セル、 二氧化碳膜， 劃片機用清洗器， 防靜電清洗機， DISCO防靜電清洗， DISCO原廠， DISCO劃片機配套設(shè)備， 二氧化碳CELL， SAIL， SELL，
