愛銳精密科技（大連）有限公司提供進口小型接確式對準曝光機 MASK ALIGNER

對準曝光機- MaskAligner

■特點?

■手動操作、接觸式對準曝光機。?
■依照不同需求以及成本考量有準直儀型多面鏡型整合(積算器)型三種曝光光源。
■有可對應5×5mm～100×100mm以及Φ1 inch～?6 inch的基板的各類機種。?
■Mask Holder載臺的更換作業簡單易行，可在１分鐘內完成，適合用于研究開發。?
■對準顯微鏡的對物鏡可對應高對準精度或厚膜等用途，并且有4×、10×、20×三種。

■共通規格

MA系列 半自動型，用于IC少量生產，MEMS等用途

MA-10 低成本，標準型

規格 基板尺寸 MAXΦ4 inch Mask尺寸 MAX 5×5 inch UV燈箱 準直儀型 照度 ?>8mW/cm2 照度均一性 <±8.5% 硬性接觸 有 對準點間隔測長功能 不可裝配 ?計光量計 不可裝配 防震臺 選配 外形尺寸(mm) ?700W×570H×650D

具體需求請向我司咨詢。

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