愛銳精密科技（大連）有限公司提供日本出口高精度小型半導體制造實驗旋轉涂布機，SPIN COATER

產品特點：

■本產品采用獨特的旋轉控制系統不但可以達到5,000rpm以上的高速旋轉，且旋轉數精度全實現了 ±1rpm的高精度?
■可任意設定旋轉數(0~5,000rpm)和到達旋轉數的時間(0.2sec~999.9sec)，因此可輕易地控制膜厚。?
■可追加滴下裝置(MS-A150/MS-A200)

產品主要功能：

■采用AC伺服電動機?
●無刷式，不會造成無塵室污染。?
●減少電動機發熱，也減少因連續使用時的溫度上升造成對膜厚再現性的影響。?
●電力消費低，減低環境的負擔。?
■擴張程式功能?
●最多有100階段程式、可記憶10種模式，更容易使用。?
■所有機型皆標準配備數位式真空計?
■方形基板等可設定停止時位置，超方便?
■安全裝置機構(真空壓及蓋子)?
●由于薄膜或晶圓容易破裂，而降低吸附壓力時，可以變更安全裝置機構（真空）的稼動壓力。

產品型號及主要規格：

型號		MS-B100	MS-B150	MS-B200
基板尺寸		MAX4inch(75×75mm)	MAX6inch(100×100mm)	MAX8inch(150×150mm)
旋轉數		50~7,500rpm	50~7,000rpm	50~5,000rpm
旋轉精度		±1rpm	±1rpm	±1rpm
蓋子		壓克力	壓克力	PC
安全裝置	蓋子	選配	選配	○
	真空	○	○	○
滴下裝置		不可裝配	選配	選配
使用真空源		-0.08~0.1MPa	-0.08~0.1MPa	-0.08~0.1MPa
電源		AC100~110V 50/60Hz 5A	AC100~110V 50/60Hz 5A	AC100~110V 50/60Hz 5A
外形尺寸(mm)		260W×230H×330D	360W×302H×435D	503W×350H×580D
外觀

MS-B200 密閉型

產品特點：

■可減低因旋轉而產生的氣流不穩，均勻涂膜
■EB光刻劑涂布效果佳
■低沸點溶劑涂布效果佳
■可減低光刻劑的使用量

●試料需使用合適的載臺。有關載臺的問題，請與敝司聯絡。

KEYWORDS： 半導體旋轉涂布機，實驗機，MS-B100， MS-B150， MS-B200， MEMS用涂布機