半導體制造用真空閥門（Slit Valve Door）（臺灣產）

本產品是由臺灣擁有四十年橡膠產品生產經驗，氟化橡膠產品生產經驗接近十年，并在日本，韓國，臺灣地區的半導體行業得到廣泛應用的專業企業生產，全部氟化橡膠產品的生產線設在臺灣，擁有100級和10000級的潔凈室，擁有高精密度三次元測量儀，專業的電漿雜質測試設備等，保證高給客戶提供高品質的產品。且有開發能力，可以根據客戶要求提供相應產品。

產品特點：

1，耐高溫；

2，抗等離子；

3，低雜質產生，高純度；

4，使用壽命長；

5，低金屬含量；

6，低氣體放出；

7，價格低廉。

可以提供產品線：

對應6英寸半導體生產線及8英寸半導體生產線特點

低雜質放出量，

防止金屬接觸，

長時間使用壽命。

對應12英寸半導體生產線產品特點

安裝簡單，

價格低廉。

對應材料：FKM，FFKM

產品例

應用領域：IC， LCD， LED， OLED等半導體行業的生產制造過程中的下列制程

干法蝕刻（Dry Etching), 濕法蝕刻（Wet Etching), CVD, PVD, 擴散（Diffusion)等。

等離子（電漿）雜質檢測設備/壓力檢測設備

FTIR/三次元測量

RIE測試設備/PECVD測試設備

KEYWORDS：密封圈，全氟密封圈，全氟O型圈，O ring, O RING, O-RING, 密封件， 氟膠圈，氟膠墊片，O型氟膠圈， 氟膠墊片， 氟膠條， 氟膠管， 氟膠平墊圈， 進口O型圈， 方型圈，星型圈， 不規則密封橡膠條， 真空閥門， 真空狹縫門， 真空檔板， 鋁檔板，